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Nisene化學芯片開封機JetEtch Pro

簡要描述:如同當年的JetEtch一樣,Nisene公司最新一代的全自動濕法化學芯片開封系統(tǒng)JetEtch Pro再一次以杰出的安全性與性能引領(lǐng)行業(yè)。 美國Nisene科技集團有限公司從事集成電路失效分析的自動開封裝置研發(fā)超過40年,擁有多項電化學及微波等離子開封機技術(shù)的專利。

  • 更新時間:2024/9/26 0:00:00
  • 訪  問  量:7205
  • 產(chǎn)品型號:JetEtch Pro
詳細介紹

 

CuProtect工藝 - 美國專利8,945,343 B2-用施加的電壓解封裝。 
TotalProtect Process - 美國專利9,543,173 B2-用施加的電壓和冷卻系統(tǒng)解封裝。 
PlasmaEtch Process - 美國專利9,548,227 B2 - 使用等離子體放電管的微波誘導等離子體

 

引領(lǐng)行業(yè)的化學芯片開封系統(tǒng)----JetEtch Pro

 

         美國 Nisene Technology Group 生產(chǎn)的 JetEtch 自動開封機,可采用雙酸刻蝕,并利用負壓噴霧技術(shù)進行刻蝕。根據(jù)不 同的器件封裝材料和尺寸,可設定不同的試驗條件,進行定位刻蝕。主要可設置的試驗參數(shù)包括:采用刻蝕酸的種 類、刻蝕酸的比例、蝕刻溫度、蝕刻時間、酸的流量(酸的用量)、清洗的時間等。同時采取漩渦噴酸的方式,可大 大降低用酸量,從而能夠比較精確地去除掉芯片表面的封裝材料,達到較好的開封效果。根據(jù)器件的不同封裝形式, 可選取不同封裝開口模具,可控制開口的位置和大小,目前配有的開口模具有多種,基本滿足目前的封裝需要,如 適用 DIP/SIP,PLCC,OFP,PBGA,芯片倒裝 BGA 和 S0 小外型封裝。

          Nisene 是世界領(lǐng)先的專注從事失效分析自動開封、IC 芯片去層、塑封蝕刻技術(shù)研究和設備制造的美國公司,有著 28 年的自動開封和蝕刻研發(fā)制造歷史, Nisene 科技公司很榮幸的介紹我們的新一代革命性酸液自動化開封 機 (Decapsulator)。我們命名為 JetEtch pro,正如其名,一個符合當今 IC 封裝之開封機設計要求,新型 Jetetch 第二代 開封機秉持著我們對半導體去除處理的一貫的承諾證明了 Nisene 科技公司為符合現(xiàn)在直至來失效分析專業(yè)需求而 提供創(chuàng)新,高質(zhì)量設備產(chǎn)品的傳統(tǒng); 今日 JetEtch pro 硬件,操作系統(tǒng)和軟件完全重新設計并保留了以前熟悉的、精 密的設計以呈現(xiàn)比以往更靈活設計的開封機。 JetEtch pro 操作簡易、直覺的軟件透過簡單編程的順序逐步引導操作 員。一但設定完成,只以二個擊鍵便使軟件能完成一整個蝕刻程序。


JetEtch Pro自動解封裝置作用和特點:
基于以下原因,我們需要將IC塑封材料進行去除: 

1. 檢查IC元件為何失效; 
2. 執(zhí)行質(zhì)量控制檢測和測試; 
3. 為了研發(fā)的要求對芯片的設計進行修訂。


        最初出現(xiàn)的是手動開封,為了檢查芯片的一些缺陷而手動去除芯片外面包裹的塑封材料。但是手動開封存在著安全性不夠高,重復性較差,精度控制非常低,開封速度不夠快等問題。為此在這個基礎上NISENE研制出自動開封機JetEtch Pro,以解決手動開封存在的問題。JetEtch Pro系統(tǒng)通過用酸腐蝕芯片表面覆蓋的塑料能夠暴露出任何一種塑料IC封裝內(nèi)的芯片。去處塑料的過程又快又安全,并且產(chǎn)生干凈無腐蝕的芯片表面。整個腐蝕過程是在一定壓力下的惰性氣體中完成的,不但能降低金屬氧化而且降低了產(chǎn)生的廢氣。這套系統(tǒng)被設計成在極少培訓的條件下安全并易于使用。 

JetEtch pro CuProtect 一些特性和優(yōu)點表現(xiàn)如下:    
1.  銅線開封技術(shù),專利的離子保護銅線技術(shù)。
2. 一條高亮度六線字母數(shù)字的顯示在所有情況排煙柜的照明下保證絕佳的可見性;
3. JetEtch pro CuProtect 為不同的構(gòu)裝類型可充分地編輯程序和存放 100 組蝕刻程序。JetEtch pro CuProtect 在產(chǎn)業(yè)呈 現(xiàn)的準確性和功能性無可匹敵;
4. 溫度選擇和自動精確溫度檢測;升降溫時間快,硝酸與硫酸的切換使用只需很小的時間;
5. JetEtch pro CuProtect 酸混合選擇:JetEtch pro CuProtect 軟件可以使用硝酸、硫酸或混合酸,另含 13 組混酸比率;
6.具有專利技術(shù)的泵浦可以達到精準酸的配比和最快的腐蝕效率
7. 蝕刻劑混合選擇確保準確性及重復率,1ml~6ml/sec 的酸量選擇能提供更好的腐蝕效果;
8. 專利 JetEtch pro CuProtect 電氣泵和蝕刻頭配件組;
9. 蝕刻劑流向選擇:渦流蝕刻和脈沖蝕刻,JetEtch pro CuProtect 廢酸分流閥;
10. 不會有機械損傷或影響焊線;不會有腐蝕性損傷或影響外部引腳;可以選擇硝酸、冷硫酸進行沖洗或不沖洗;
11. 無需等待,完全腐蝕一顆樣品最多只要 1~2 分鐘;
12. 通常使用的治具會與設備一同提供;通常情況不需要樣品制備;
13. 酸和廢酸存儲在標準化的酸瓶中;
14. 設備小巧,只需很小的空間擺放;安全蓋凈化:安全、簡單、牢靠。

 

 

例子:
 




 

詳細參數(shù):

尺寸

主機(mm/英寸) 290 高 x 290 寬 x 419 深 / 11.5 高 x 11.5 寬 x 16.5 深

瓶柜(mm/英寸) 230 高 x 110 寬 x 110 深 / 9 高 x 4.25 寬 x 4.25 深

重量 (KG/磅)

17 / 38 (包含瓶柜和附件)

電源

350 W @ 95 - 130 VAC or 350 W @ 210 - 250 VAC

壓縮空氣/氮氣要求

壓縮空氣 4.2 kg/cm2 / 60 –100 psi

氮氣供應 2.8公升/分鐘 / 0.1 立方英尺/分鐘

 

 

 

可用的蝕刻液

蝕刻液流量:脈沖模式1、2、5或1-10mL/min;渦流模式1-6mL/min

煙硝酸

煙硫酸

硫酸(濃縮試劑)

硝酸:硫酸混合比例:6:1, 5:1, 4:1, 3:1

溫度范圍

硝酸  20 – 90(°C)

硫酸  20 – 250(°C)

混合酸 20 – 100(°C)

蝕刻時間和方式

(用戶可選)

1–1800秒可調(diào),1秒的增量

脈沖蝕刻模式, 渦流蝕刻模式

程序容量: 100,用戶自定義

升溫時間

(用戶可選)

0 – 120 秒可調(diào),1秒的增量

清洗

硫酸、硝酸,無須清洗

儲液器

500mL或1升瓶

33/38/40/45mm蓋的尺寸

4個瓶子: 2個裝酸, 2個裝廢液

證書

CE證書, SEMI S-2-93, SEMI S-2-2000

 

 


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